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结晶器振动监测系统

结晶器振动监测系统

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产品描述

 

结晶器振动测试系统:由位移传感器装置,数据采集模块,数据处理及显示系统组成。可测量x、y和z三个位置量。

 

主要技术参数 

 测量精度:±0.01mm

 分辨率:1μm

 频率响应0~50Hz

 测量范围:-10mm~+10mm(根据传感器参数?#33539;ǎ?/P>

 使用温度:10~45℃

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